2024 堆叠式图像传感器进展汇总
2016 年,IMX260 (三星 Galaxy S9 系列)首发直接互联/混合键合(DBI Hybrid Bond)堆叠式结构(Sony Gen 3),铜端子(Cu-Cu DBI)间距约 6μm 上下。
2016 年,由于无法解决背照式(BSI)全局快门,电荷缓存漏光问题,索尼提出用于前照式(FSI)的芯片级互联方案(Chip on Chip),互联端子间距为 20μm。
2018 年,索尼展示像素级互联密度的堆叠式图像传感器方案(Sony Gen 5),采用 6μm 互联端子间距,但需注意原型机像素尺寸高达 6.9μm。
2018 年下半年索尼推出第二代直接互联/混合互联,铜端子间距约 3μm 上下(3.1μm),IMX586 (Sony Gen 3)首发。
2021 年索尼为双像素层所需的高密度互联提出顺序集成工艺,将硅穿孔的间距缩小到 0.7μm 以下。
2022 年索尼展示基于硅穿孔和直接互联的三层堆叠方案(原 Sony Gen 6),其中直接互联端子(Cu-Cu DBI)间距缩小到 1.4μm。
2023 年索尼展示 6μm 直接互联端子间距的芯片级互联方案(Chip on Wafer)。
2023 年索尼首款双像素层图像传感器 IMX888 推向市场,硅穿孔最小间距仅有 0.46μm。同时,铜端子间距缩小到 1.12μm。互联密度已经达到像素密度。
2024 年索尼展示 0.4μm 互联端子间距的直接互联/混合键合方案。
2024 年索尼展示基于硅穿孔和直接互联的第二代三层堆叠方案,铜端子间距缩小到 1μm,硅穿孔间距缩小到 6μm。
三星:
2016 年推出基于硅穿孔(TSV)的第一代堆叠式图像传感器(S5K2L1),硅穿孔间距 5μm。
2022 年三星展示了在 1.8μm 像素尺寸下实现像素级铜端子直接互联(Pixel-level
Cu-to-Cu
Bonding
)。
2023 年三星展示了端子间距小于 1μm 的基于硅穿孔和直接互联的三层堆叠方案,以实现双像素层功能。
豪威:
2014 年推出基于硅穿孔(TSV)的堆叠式图像传感器(PureCel®-S),对内称为第一代(背照)堆叠式(omnivision Gen 1)。
2017 年第二代硅穿孔(TSV)被发现,间距 4μm 左右。
佳能:
2021 年 EOS R3 搭载的佳能首款堆叠式图像传感器 LC1720 采用直接互联/混合键合,端子间距 6μm。
2023 年 MS-500 搭载的 SPAD 图像传感器 LBC010,采用直接互联/混合键合,互联端子间距为 3.1μm。
海力士:
计划 2018 年量产基于硅穿孔(TSV)的堆叠式图像传感器。
2022 年混合键合(55G0AB)互联端子间距达到 8μm。
高塔:
2021 年(GFOF0503)推出互联端子间距小到 2.5μm。
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